SEMICONDUCTOR
半導體
機臺真空磁懸浮電機
磁懸浮電機及其控制器
半導體行業(yè)中RTP、RTA工藝中涉及到的快速退火設備，其中利用磁懸浮轉(zhuǎn)臺對晶圓進行穩(wěn)定懸浮和旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)相應的工藝要求。
磁懸浮電機控制器在正常運行時可控制電機平穩(wěn)運行，轉(zhuǎn)速波動在工作范圍內(nèi)可達到要求精度；具備轉(zhuǎn)子運動狀態(tài)監(jiān)控功能，在設備產(chǎn)生故障時，能夠及時報警并生成異常日志，以便后續(xù)故障排查；具備定子溫度監(jiān)控及過溫保護功能；具備斷電保護、急停功能，可在斷電、失載、過載、偏心、跳動超標等情況下提供設備保護等。
進一步了解東能
感受東能助力工業(yè)科技轉(zhuǎn)型 暢導能源產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展
東能(沈陽)能源工程技術(shù)有限公司
數(shù)字賦能 工業(yè)互聯(lián)
聯(lián)系信息
總部地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)文藝路26號萬科中心35F
實驗室地址：遼寧省沈陽市和平區(qū)三好街84-8號KY-12
一工廠地址：遼寧省沈陽市渾南區(qū)聯(lián)東U谷渾南高新裝備產(chǎn)業(yè)園34-2
鞍山分公司地址：遼寧省鞍山市鐵東區(qū)萬科東源大廈1207